Geriadur ar skiantoù hag an teknikoù Dictionnaire des sciences et des techniques

physique, nanotechnologie ◊ reproduction du motif d'une structure micrométrique ou nanométrique dans une résine sensible déposée à la surface d'un matériau en utilisant un faisceau d'électrons comme outil d'impression

physique, nanotechnologie ◊ technique où un faisceau d'électrons, généralement dirigé par un système de lentilles électromagnétiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensible