- dsilaverezh fizikel en aezhenn g. dépôt physique en phase vapeur
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physique, chimie ◊ formation d'une couche mince sur une surface quand une substance chimique soumise à des contraintes physiques passe à l'état de vapeur et vient se déposer sur un matériau en retournant à l'état solideen physical vapor deposition, PVD, physical gas phase deposition
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