- mikrosistem elektromekanikel g. microsystème électromécanique
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physique, nanotechnologie ◊ ou micromachine - système qui intègre sur une seule puce, à l'échelle micrométrique, des composants principalement électroniques et mécaniques qui servent à remplir des fonctions déterminéesen microelectromechanical system, MEMS, microsystem, micromachine
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